Sekolah Tinggi Agama Islam Walisembilan Semarang, disingkat SETIA Walisembilan pada awal pertumbuhanya tidak lepas dari lembaga yang mendahuluinya. Lahirnya SETIA WS merupakan perubahan dari Institut Islam Walisembilan Semarang (IIWS) yang didirikan oleh Yayasan Al-Jami’ah Al- Islamiyah Semarang pada tanggal 11 Zulqa’dah 1402 H bertepatan dengan tanggal 30 Agustus 1982.
IIWS ini didirikan oleh Panitia Pendiri yang dibentuk oleh Yayasan dengan Nomor SK: YAJ/51–SK/IV/1982 terdiri dari :
Pelindung : KH. M. Ali Masyhar ( Ketua Yayasan Al-Jamiah Al-
Islamiyah Semarang)
Ketua : Drs. Ali Mas’ud
Wakil Ketua : Drs. Idris Yahya
Sekretaris : Drs. Aminudin
Wakil Sekretaris : Drs. Muhyidin
Bendahara : M. Machasin Us
Anggota-anggota :

1. dr. Ahmad Ghozi
2. Drs. Mustaghfirin Asror
3. Drs. M. Sholeh Noor
4. Drs. Marasuddin Siregar
5. Drs. Noor Ahmad
6. Drs. M. Zaen Yusuf
7. Drs. Drs. Chamdi Rohmat
8. Saliyun M. Amir
9. Drs. Satriyan Abd. Rahman
10. Drs. M. Chabib Toha
11. M. Cholil Makki, BA.

Pada tahun pertama, IIWS hanya membuka 1 Fakultas yaitu Fakultas Tarbiyah, dengan tenaga dosen sebanyak 11 orang. Tempat kegiatan Fakultas dan Institut di Jl. Ki Mangunsarkoro No. 17 Semarang; kampus yang telah dimiliki oleh Yayasan Al-Jamiah Al-Islamiyah Semarang pada tahun akademik 1982/1983 atau tahun pertama, dengan mahasiswa yang terdaftar sebanyak 48 orang dan diterima semua. Kuliah pertama dimulai tanggal 30 Agustus 1982.
Pada tahun kedua 1983/1984 IIWS mendapat rekomendasi Pendirian oleh Walikotamadya KDH Tk. II Semarang dengan Nomor 42.4/7180 Tanggal 3 Desember 1983. Jumlah mahasiswa pada tahun akademik ini menjadi berkembang yaitu 85 orang, demikian juga jumlah dosen meningkat menjadi 16 orang.
Pada tahun ketiga, tahun akademik 1984/1985, Fakultas Tarbiyah mendapatkan Status TERDAFTAR dengan SK Ditbinperta No. Kep./E.III/PP.009/312/84 tanggal 23 Oktober 1984. Bersamaan dengan Dies Natalis III, Piagam status TERDAFTAR Fakultas Tarbiyyah Institut Islam Walisembilan Semarang diserahkan. Pada tahun itu juga Yayasan Al-Jamiah Al-Islamiyah Semarang mengadakan kerjasama dengan Yayasan Futuhiyyah Mranggen dengan menerima Fakultas Syariah UNNU di Pondok Pesantren Futuhiyyah Mranggen sebagai Fakultas Syariah IIWS di Mranggen.
Piagam kerjasama ini ditandatangani pada tanggal 26 Desember 1984 dengan disaksikan oleh Koordinator Kopertais Wilayah III/DIY/Jawa Tengah yang diwakili oleh Rektor IAIN Walisongo Semarang, bertempat di Aula IIWS Jl. Ki Mangunsarkoro 17 Semarang.
Fakultas Syariah IIWS di Mranggen, semula adalah Fakultas Hukum Islam/Kulliyatul Qadha’-Universitas Nahdaltul Ulama’ filial Surakarta di Mranggen. Sehubungan dengan adanya Peraturan Menteri Agama Republik Indonesia, Nomor : 2 tahun 1994 tentang larangan penyelenggaraan kelas jauh bagi Perguruan Tinggi Agama Islam Swasta, maka terhitung mulai tanggal 26 Desember 1984, FHI UNNU di Mranggen, secara resmi berada dalam pembinaan Institut Islam Walisembilan Semarang (IIWS) dan namanya menjadi Fakultas Syariah IIWS, dengan jumlah mahasiswa tingkat I/Semester I sebanyak 29 orang dengan jumlah dosen 18 orang. Sehingga jumlah mahasiswa secara keseluruhan pada tahun ke 3 ini menjadi 140 orang yang terdiri dari Fakultas Syariah dan Tarbiyyah.
Pada tanggal 23 Oktober 1986 Yayasan Al Jami’ah Al Islamiyyah Semarang c.q. Kopertais Wilayah X Jawa Tengah menerbitkan Ijin Operasional Fakultas Syariah di Mranggen dengan SK No. 3 Tahun 1986 Tanggal 23 Oktober 1986, dan pada tanggal 12 April 1989 dengan SK No. 77 Tahun 1989 Fakultas Syariah mendapat status TERDAFTAR Jurusan Peradilan Agama (Qadha`).
Kemudian pada tanggal 28 Juni 1991 Fakultas Syariah di Mranggen di jadikan satu di kampus Semarang Jl. Ki Mangunsarkoro No 17, dengan Surat Rekomendasi Bupati KDH Tingkat II Demak No. 421.4/1782.
Selanjutnya pada tanggal 22 Maret 1988 dibukalah Fakultas Dakwah dengan SK Pengurus Yayasan Al-Jamiah Al-Islamiyah No. YAJ/061-SK/I.A.SI/III/88, serta rekomendasi dari Walikotamadya KDH Tingkat II Semarang No. 421.4/2596. Akhirnya pada tanggal 14 Mei 1988 mendapat ijin operasional. Kemudian pada tanggal 7 Agustus 1991 Fakultas Dakwah IIWS mendapat status TERDAFTAR dari Menteri Agama No. 177 Tahun 1991.
Pada tahun 1990 Fakultas Tarbiyah mendapat status DIAKUI dengan SK Menteri Agama No. 311 tahun 1990. Sedangkan Fakultas Syariah mendapat status yang DIAKUI pada tahun 1994 dengan SK Menteri Agama No. 188 tahun 1994.
Sehubungan dengan adanya peraturan dari pemerintah yang dikeluarkan oleh Menteri Agama dengan SK Menag No. 53/94 dan Surat Kopertais Wilayah X Jawa Tengah No. Kop.Wil. X/PP.00.9/06/1999, tentang pelaksanaan keputusan Menag RI, dimana untuk Institut itu setidak-tidaknya harus mempunyai 3 Fakultas dan setiap Fakultas setidak-tidaknya mempunyai 3 jurusan, maka IIWS yang saat itu sudah memiliki 3 Fakultas dan setiap fakultas hanya memiliki masing-masing 1 jurusan akhirnya berubah nama menjadi Sekolah Tinggi Agama Islam Walisembilan Semarang (SETIA WS). Perubahan ini terjadi pada tahun 1999 dengan SK Yayasan Al-Jamiah No. YAJ.I/769-SK/PRB/VII/1999.
Pada tahun 2002 tepatnya pada tanggal 17 Juni 2002 SETIA WS mengembangkan sayapnya dengan membuka porgam baru yaitu Progam Diploma 2 Jurusan PGSDI/MI dengan SK Kopertais Wilayah X Jawa Tengah, Nomor : 04 Tahun 2002.
Keberadaan SETIA WS semakin exist setelah mendapat status Terakreditasi dari Badan Akreditasi Nasional Perguruan Tinggi (BAN PT) Departemen Pendidikan Nasional Republik Indonesia pada tanggal 5 April 2002, dengan SK Nomor : 004/BAN-PT/Ak-V/SI/IV/2002. Sejak saat itulah SETIA WS tidak ada ujian Negara dan Penandatanganan Ijasah tidak oleh Kopertais melainkan oleh Ketua SETIA sendiri.
SETIA WS yang merupakan kelanjutan dari IIWS senantiasa mengalami perkembangan dilihat dari jumlah Mahasiswa dan alumni. Pada tahun 2005/2006 jumlah mahasiswa mencapai 585 mahasiswa dan jumlah alumni SETIA WS yang sudah di wisuda sebagai sarjana Jurusan PAI (Tarbiyah) berjumlah 1303, terdiri dari : Jurusan AS (Syariah) 103 orang, Jurusan KPI (Dakwah) 72 orang.